摘要: 自1980年由Brandis和Rosencwaig以及Cargill分别建立扫描电子声显微镜(SEAM)以来,由于它可以高分辨率¹地同时获得试样表面电子显微镜像(SEM)和亚表面SEAM像以及试样制备简单等优点,已发展成为一种新的材料表征和亚表面成像技术,目前这一技术已成功应用于材料的残余应力分布²、电畴³、生物组织⁴等材料的检测中。